薄膜压力传感器不可避免的误差

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发布者：admin2018-11-30 15:35:55

薄膜压力传感器不可避免的误差

1、偏移误差

由于压力传感器的垂直位移在整个压力范围内保持恒定，因此换能器扩散和激光调节校正的变化将产生偏移误差。

2、灵敏度误差

误差的大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值，则灵敏度误差将是压力的增加函数;如果灵敏度低于典型值，则灵敏度误差将是压力的递减函数;误差是由扩散过程变化引起的。

3、线性误差

这是对压力传感器的初始误差几乎没有影响的因素。该误差是由硅芯片的物理非线性引起的。但是，对于带放大器的传感器，还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹曲线。它也可以是凸曲线。

4、滞后误差

在大多数情况下，压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计，因为硅晶片具有高机械刚度，并且通常仅需要考虑压力变化很大的情况下的滞后误差。